Tác giả :

Nguyễn Văn Hiếu-ĐH Khoa Học Tự Nhiên, TP. HCM

Bùi Văn Quảng-ĐH Sư Phạm Kỹ Thuật TP. HCM.

TÓM TẮT : Báo cáo này trình bàyvề lý thuyết vật liệu bán dẫn Nitride, cơ chế phát xạ, cấu trúc đa giếng lượng tử cho phát xạ cực tím và tìm hiểu về thiết bị tạo màng mỏng theo kỹ thuật lắng động hóa học cho kim loại hữu cơ (MOCVD). Tác giả tính toán các thông số vật lý và quangcho một mô hình cấu trúc tiềm năng phát xạ cực tím qua phần mềm SiLENSe. Mô phỏng chế tạo cấu trúc UVLED bằng phần mềm Intellisuite cho mục đích giảng dạy. Cuối cùng, tác giả đề xuất quy trình chế tạo UV LED tại Khu công nghệ cao Tp.HCM (SHTP), nơi đang có thiết bị MOCVD duy nhất tại Việt Nam.

Từ khóa: UV LED, MOCVD, đa giếng lượng tử, khử trùng.

ABSTRACT: This report focuses to find out the emission mechanisms for Nitride semiconductor, multi-quantum wells structures for ultraviolet radiation, study about thin film technology on the equipment of Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD). We calculate the physical and optical properties for 2 potential UVLED structures by SiLENse software and other mathematical formulas.Their fabrication process also was studied by Intellisuite software, which is the easy way for educational purpose. Finally, we propose some ideas for the UVLED manufacture process in Saigon Hi-Tech Park (SHTP, Vietnam), where owned the MOCVD equipment in Vietnam.

Key words:UVLED, MOCVD, Multi Quantum Wells (MQWs), Sterilizing

Góp ý
Họ và tên: *  
Email: *  
Tiêu đề: *  
Mã xác nhận:
 
 
   
  
 
 
   
 *
Copyright © Tạp Chí Khoa Học Giáo Dục Kỹ Thuật - Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật - TP.HCM  
Địa chỉ: Phòng 601B, 1 Võ Văn Ngân, Quận Thủ Đức, Thành Phố Hồ Chí Minh. 
Điện thoại: 08-3722.1223 (8168)
Email:
tapchikhgdkt@hcmute.edu.vn

                                      
                                

Truy cập tháng: 19,945

Tổng truy cập:246,884